DOI: https://doi.org/10.20998/2411-0558.2018.24.05

Синтез стабилизирующего управления процессом выращивания монокристаллов на основе решения неравенства Ляпунова

Viktor Suzdal, Yuriy Yepifanov

Аннотация


Рассмотрен синтез стабилизирующего управления процессом выращивания методом Чохральского щелочно-галоидных монокристаллов, позволяющий решить задачу стабильности скорости роста за счет адаптивной стабилизации тепловых условий. Синтез управления проведен на основе решения неравенства Ляпунова с канонизацией матриц и с использованием матричных делителей нуля стабилизирующего регулятора и системы в целом. Ил.: 1. Библиогр.: 9 назв.

Ключевые слова: стабилизирующее управление; метод Чохральского; матрица; матричные делители нуля; монокристалл; система.

 


Полный текст:

PDF